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微电子机械系统(MEMS)是麦克风，加速计和生物传感器等技术中使用的微小装置。MEMS非常有用，但容易受到物理压力，影响其性能、稳定性和可靠性。追踪这种干扰很重要，但将一个单独的传感器附入这种微小的结构并非易事。
（编译自 TechXplore；原文
来源：TechXplore（原文）
本文系本站对该英文资讯的编译与转述，非全文翻译；版权归原作者所有。
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